LAM796-055344-005水蒸汽輸送模塊brooksinstrument VDM300
27-126062-00 3310-01071 ?; 1350-01027 ?; 1350-01021 ?; 60-10006-00 275821 3310-01055 275185 27-126029-00 629B-15894
美國CTI-Cryogenics 、CVI、Austin,德國Leybold、日本Anelva、住友重工 (SHI、APD 、Daikin)、 ULVAC、Suzuki等公司低溫泵 冷凝泵。
提供GM及SV 冷凝泵 低溫泵 的配件。
下面是出售的部分冷泵及配件(還有很多配件沒有上傳,歡迎來電咨詢):
ON BOARD 8F CRYOPUMP AMAT ENDURA 8116143G001
CTI-TOR8
Cryo-Torr Interface 8135903G001
Granville-Phillips Vacuum Guage Controller NR
15K High Capacity Array
CTI Maintenance Kits
Helium Line AMAT 3400-01109 CTI 8043086G240
TC Gauge 8112105
Cryo-Torr Interface 8135903G001
mks TYPE670真空計校準儀690傳感器
722C01TCD2FJ電子真空計MKS真空壓力計 1TORR 4VCR
brooksinstrument VDM300維修與銷售lam796-055344R007
MKS MFVC-29886 MKS MFVC-34785 MKS MFVC-32497 MKS VODMB-26565 LAM 797-004456R005 MKS390100-YG 275071 392100-YE MKS-226A-29571 AMAT0190-50856 0190-51152 MKS649A12T51CAMR 1179A01922CR1AV-K MKS GE50A-30351
BROOKS AUTOMATION控制器維修978-262-2900(165463)
MKS SENTRY 1510流量計AERA EPV100-AW
TEL設備流量計維修ckd tpr4-35-A100T-X0002
cooling
temperature under 25° C and a backing pump of 10,000 l/min size or larger used.
The value is changed if operated under different conditions
Technical Data
STP-iXA4506 Series/Pumping Speed Against Inlet Pressure
EDwardsSTP-H1303C分子泵加SCU-800控制器現(xiàn)貨
美國FIL-TECH 對流表CONVECTION GAUGES CVG101GA/101GB/1
01GG
VAT APC Controller(PM7)796-098290-002
mks真空計356004-YG-THORIBA VALVE全新原件0190-36237流量計
MKS390521-3-YH-T-0018GRANVILLE-PHillips 真空計AMAT氣體流量計0190-51152
Granville-Phillips 隔膜規(guī)390628-0-YE-T 390B6636
MKS 390628–0-YE MKS GRANVILLE-PHILLIPS gauge P/N:390628–0-YE-T 390628-0-YE-T 390B6636
LAM796-055344-005
特點
-
流量范圍:3 slpm (去離子水蒸汽)
-
具有超高流量精度的直接水蒸汽測量
-
能直接連接到廠房去離子水供應系統(tǒng)
-
在較低溫度下可操作(非過熱狀態(tài))
-
沖刷和排水的優(yōu)化設計
-
EtherCAT數(shù)字通訊
-
Brooks Expert Support Tool (BEST)圖形用戶界面
優(yōu)勢
-
采用了成熟可靠的熱式質(zhì)量流量測量和控制技術
-
適用于各種FAB去離子水供水的壓力
-
接液件耐腐蝕性能增強
-
確保更清潔的操作
-
可匹配各種設備的模擬或數(shù)字通訊接口
-
直接用戶界面可增強數(shù)據(jù)收集或故障排查
應用
-
硅材料半導體金屬刻蝕后段工藝
-
硅材料半導體金屬剝離工藝
-
在負大氣壓的環(huán)境中超高純加濕
LAM797-800733-100半導體機臺配件MFC649B-32597
深圳市天鉉真空技術有限公司
SEC-Z11DWM [ 堀場 STEC ]
質(zhì)量流量控制器 SEC-Z11DWM SHI4 50SCCM
SEC-N112MGM [ 堀場 STEC ]
質(zhì)量流量控制器 SEC-N112MGM N2 300SCCM B-14W3 9P 3
SEC-Z719JX [ 堀場 STEC ]
質(zhì)量流量控制器 SEC-Z719JX SICL4 100SCCM BLK-C 9P
SEC-N112MGM [ 堀場 STEC ]
控制器TRIAS EX2 MFC11 NH3 1SLM
GP-Z104-C [ 堀場 STEC ]
真空計 GP-Z104 0.1TORR
mks360/370
AMAT AE PARAMOUNTRF generator0190-441-5
GRANVILLE PHILLIPS 390 Series Micro-Ion gauge ATM Module:
PN:390628-0-YE-T,
PN:390506-3-YE-T,
P
加熱元件的發(fā)熱越有效,需要對它們進行的加熱就越少。Plansee 研發(fā)了一種能夠最大化熱輸出的涂層工藝。

深圳市天鉉真空技術有限公司供應半導體過濾器 半導體配件mks真空計流量計 等進口控制器
供應CTI低溫泵維修和銷售詳細介紹
CTI(Ulvac)低溫泵和氦氣壓縮機維修、銷售和技術咨詢8200/9600
CTI(Ulvac)低溫泵和氦氣壓縮機維修、銷售和技術咨詢。
OB8F:
OEM (CTI) Refurbished CTI Cryogenics Endura 8F Onboard Cryogenic Vacuum Pump.
. Utilized on AMAT Endura HP PVD Systems, OEM Refurbished to Like New Condition.
. Certificate of manufactures conformity attached.
. ConFlat Flange with Copper Gasket. In OEM Box
. CTI Part # 8116143G001 Serial # A06423485 AMAT Part # 0190-13371
8200: 8032559G001
美國CTI壓縮機維修9600: 8135900G001
MKS354005-YD-T
Granville-PHillips真空計 275529-EU
1.型號:275529-EU
2 MKS390411-0-YE-T真空計GRANVILLE-PHILLIPS
3.非實價,議價!英??嫡婵沼婱KS354005-YD-T離子對撞壓力計MKS
INFICON BAG302 B-A 型熱陰極電離真空計(中高真空計)
INFICON 單臺 Bayard-Alpert 熱離子計 BAG302 的測量范圍從 1.3 × 10-9 到 6.7×10-2 mbar(1 × 10-9 到 5 × 10-2 Torr)。緊湊型一體化熱離子計BAG302提供易于更換的雙燈絲傳感器,內(nèi)置OLED顯示屏,設定點繼電器和對數(shù)線性模擬輸出以及集成的RS485數(shù)字接口,可提高集成靈活性。這些功能與堅固的設計相結(jié)合,使BAG302成為一種經(jīng)濟實惠且可重復的過程,可作為自己的壓力測量儀器的基礎,并提供高價值/低擁有成本的選擇。
INFICON 的 BAG302 熱離子計是下面列出的 MKS/GP 部件號的直接直接替代品。 這還包括較舊的傳統(tǒng) MKS 354 微離子®模塊。
MKS系列
|
部件號
|
顯示
|
單位
|
輸出
|
法蘭型
|
燈絲
|
INFICON部件號
|
355 微離子®
|
355400-0-碼
|
不
|
托
|
模擬
|
DN 16 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-050
|
355 微離子®
|
355400-0-葉-T
|
不
|
托
|
模擬
|
DN 25 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-051
|
355 微離子®
|
355400-0-YK-T
|
不
|
托
|
模擬
|
DN 40 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-052
|
355 微離子®
|
355400-0-YF-T
|
不
|
托
|
模擬
|
DN 16 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-053
|
355 微離子®
|
355400-0-YG-T
|
不
|
托
|
模擬
|
DN 40 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-054
|
355 微離子®
|
355400-0-碼
|
不
|
毫巴
|
模擬
|
DN 16 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-050
|
355 微離子®
|
355400-0-葉-T
|
不
|
毫巴
|
模擬
|
DN 25 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-050
|
355 微離子®
|
355400-0-YK-T
|
不
|
毫巴
|
模擬
|
DN 40 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-052
|
355 微離子®
|
355400-0-YF-T
|
不
|
毫巴
|
模擬
|
DN 16 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-052
|
355 微離子®
|
355400-0-YG-T
|
不
|
毫巴
|
模擬
|
DN 40 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-054
|
355 微離子®
|
355400-0-碼
|
不
|
帕斯卡
|
模擬
|
DN 16 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-050
|
355 微離子®
|
355400-0-葉-T
|
不
|
帕斯卡
|
模擬
|
DN 25 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-051
|
355 微離子®
|
355400-0-YK-T
|
不
|
帕斯卡
|
模擬
|
DN 40 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-052
|
355 微離子®
|
355400-0-YF-T
|
不
|
帕斯卡
|
模擬
|
DN 16 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-053
|
355 微離子®
|
355400-0-YG-T
|
不
|
帕斯卡
|
模擬
|
DN 40 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-054
|
355 微離子®
|
355600-0-碼
|
發(fā)光二極管
|
托
|
模擬
|
DN 16 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-050
|
355 微離子®
|
355600-0-葉-T
|
發(fā)光二極管
|
托
|
模擬
|
DN 25 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-050
|
355 微離子®
|
355600-0-YK-T
|
發(fā)光二極管
|
托
|
模擬
|
DN 40 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-052
|
355 微離子®
|
355600-0-YF-T
|
發(fā)光二極管
|
托
|
模擬
|
DN 16 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-052
|
355 微離子®
|
355600-0-YG-T
|
發(fā)光二極管
|
托
|
模擬
|
DN 40 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-054
|
355 微離子®
|
355600-0-碼
|
發(fā)光二極管
|
毫巴
|
模擬
|
DN 16 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-050
|
355 微離子®
|
355600-0-葉-T
|
發(fā)光二極管
|
毫巴
|
模擬
|
DN 25 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-051
|
355 微離子®
|
355600-0-YK-T
|
發(fā)光二極管
|
毫巴
|
模擬
|
DN 40 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-052
|
355 微離子®
|
355600-0-YF-T
|
發(fā)光二極管
|
毫巴
|
模擬
|
DN 16 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-053
|
355 微離子®
|
355600-0-YG-T
|
發(fā)光二極管
|
毫巴
|
模擬
|
DN 40 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-054
|
355 微離子®
|
355600-0-碼
|
發(fā)光二極管
|
帕斯卡
|
模擬
|
DN 16 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-050
|
355 微離子®
|
355600-0-葉-T
|
發(fā)光二極管
|
帕斯卡
|
模擬
|
DN 25 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-051
|
355 微離子®
|
355600-0-YK-T
|
發(fā)光二極管
|
帕斯卡
|
模擬
|
DN 40 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-052
|
355 微離子®
|
355600-0-YF-T
|
發(fā)光二極管
|
帕斯卡
|
模擬
|
DN 16 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-053
|
355 微離子®
|
355600-0-YG-T
|
發(fā)光二極管
|
帕斯卡
|
模擬
|
DN 40 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-054
|
355 微離子®
|
355410-0-碼
|
不
|
托
|
RS485
|
DN 16 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-050
|
355 微離子®
|
355410-0-葉-T
|
不
|
托
|
RS485
|
DN 25 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-051
|
355 微離子®
|
355410-0-YK-T
|
不
|
托
|
RS485
|
DN 40 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-052
|
355 微離子®
|
355410-0-YF-T
|
不
|
托
|
RS485
|
DN 16 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-053
|
355 微離子®
|
355410-0-YG-T
|
不
|
托
|
RS485
|
DN 40 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-054
|
|
|
|
|
|
|
|
|
354 微離子®
|
354001-YD-T (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
托
|
模擬
|
DN 16 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-050
|
354 微離子®
|
354001-YE-T (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
托
|
模擬
|
DN 25 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-051
|
354 微離子®
|
354001-YK-T (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
托
|
模擬
|
DN 40 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-052
|
354 微離子®
|
354001-YF-T (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
托
|
模擬
|
DN 16 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-053
|
354 微離子®
|
354001-YG-T (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
托
|
模擬
|
DN 40 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-054
|
354 微離子®
|
354001-YD-M (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
毫巴
|
模擬
|
DN 16 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-050
|
354 微離子®
|
354001-YE-M (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
毫巴
|
模擬
|
DN 25 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-051
|
354 微離子®
|
354001-YK-M (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
毫巴
|
模擬
|
DN 40 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-052
|
354 微離子®
|
354001-YF-M (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
毫巴
|
模擬
|
DN 16 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-053
|
354 微離子®
|
354001-YG-M (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
毫巴
|
模擬
|
DN 40 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-054
|
354 微離子®
|
354001-YD-P (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
帕斯卡
|
模擬
|
DN 16 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-050
|
354 微離子®
|
354001-YE-P (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
帕斯卡
|
模擬
|
DN 25 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-051
|
354 微離子®
|
354001-YK-P (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
帕斯卡
|
模擬
|
DN 40 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-052
|
354 微離子®
|
354001-YF-P (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
帕斯卡
|
模擬
|
DN 16 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-053
|
354 微離子®
|
354001-YG-P (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
帕斯卡
|
模擬
|
DN 40 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-054
|
354 微離子®
|
354002-YD-T (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
發(fā)光二極管
|
托
|
模擬
|
DN 16 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-050
|
354 微離子®
|
354002-YE-T (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
發(fā)光二極管
|
托
|
模擬
|
DN 25 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-051
|
354 微離子®
|
354002-YK-T (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
發(fā)光二極管
|
托
|
模擬
|
DN 40 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-052
|
354 微離子®
|
354002-YF-T (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
發(fā)光二極管
|
托
|
模擬
|
DN 16 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-053
|
354 微離子®
|
354002-YG-T (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
發(fā)光二極管
|
托
|
模擬
|
DN 40 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-054
|
354 微離子®
|
354002-YD-M (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
發(fā)光二極管
|
毫巴
|
模擬
|
DN 16 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-050
|
354 微離子®
|
354002-YE-M (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
發(fā)光二極管
|
毫巴
|
模擬
|
DN 25 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-051
|
354 微離子®
|
354002-YK-M (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
發(fā)光二極管
|
毫巴
|
模擬
|
DN 40 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-052
|
354 微離子®
|
354002-YF-M (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
發(fā)光二極管
|
毫巴
|
模擬
|
DN 16 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-053
|
354 微離子®
|
354002-YG-M (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
發(fā)光二極管
|
毫巴
|
模擬
|
DN 40 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-054
|
354 微離子®
|
354002-YD-P (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
發(fā)光二極管
|
帕斯卡
|
模擬
|
DN 16 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-050
|
354 微離子®
|
354002-YE-P (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
發(fā)光二極管
|
帕斯卡
|
模擬
|
DN 25 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-051
|
354 微離子®
|
354002-YK-P (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
發(fā)光二極管
|
帕斯卡
|
模擬
|
DN 40 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-052
|
354 微離子®
|
354002-YF-P (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
發(fā)光二極管
|
帕斯卡
|
模擬
|
DN 16 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-053
|
354 微離子®
|
354002-YG-P (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
發(fā)光二極管
|
帕斯卡
|
模擬
|
DN 40 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-054
|
354 微離子®
|
354005-YD-T (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
托
|
RS485
|
DN 16 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-050
|
354 微離子®
|
354005-YE-T (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
托
|
RS485
|
DN 25 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-051
|
354 微離子®
|
354005-YK-T (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
托
|
RS485
|
DN 40 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-052
|
354 微離子®
|
354005-YF-T (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
托
|
RS485
|
DN 16 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-053
|
354 微離子®
|
354005-YG-T (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
托
|
RS485
|
DN 40 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-054
|
354 微離子®
|
354005-YD-M (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
毫巴
|
RS485
|
DN 16 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-050
|
354 微離子®
|
354005-YE-M (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
毫巴
|
RS485
|
DN 25 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-051
|
354 微離子®
|
354005-YK-M (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
毫巴
|
RS485
|
DN 40 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-052
|
354 微離子®
|
354005-YF-M (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
毫巴
|
RS485
|
DN 16 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-053
|
354 微離子®
|
354005-YG-M (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
毫巴
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RS485
|
DN 40 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-054
|
354 微離子®
|
354005-YD-P (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
帕斯卡
|
RS485
|
DN 16 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-050
|
354 微離子®
|
354005-YE-P (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
帕斯卡
|
RS485
|
DN 25 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-051
|
354 微離子®
|
354005-YK-P (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
帕斯卡
|
RS485
|
DN 40 國際標準-KF
|
釕涂層銥
|
352-052
|
354 微離子®
|
354005-YF-P (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
帕斯卡
|
RS485
|
DN 16 CF-R
|
釕涂層銥
|
352-053
|
354 微離子®
|
354005-YG-P (傳統(tǒng)產(chǎn)品)
|
不
|
帕斯卡
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RS485
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DN 40 CF-R
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釕涂層銥
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352-054
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進口CWFG00403 光刻膠過濾器 WGGB06S02濾芯
ASML是 Advanced Semiconductor Material Lithography的簡稱,中文名稱為阿斯麥(中國大陸)、艾司摩爾(中國臺灣)。艾司摩爾(ASML)為半導體設備供貨商,成立于1984年,是從荷商飛利浦分割出來獨立的半導體設備公司,總部設立于荷蘭的Veldhoven。
ASML為半導體生產(chǎn)商提供光刻機及相關服務,TWINSCAN系列,應用最為廣泛的高端光刻機型。目前全球絕大多數(shù)半導體生產(chǎn)廠商,都向ASML采購TWINSCAN機型,例如英特爾(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix),臺積電(TSMC),中芯國際(SMIC)等。
ASML的產(chǎn)品線分為PAS系列,AT系列,XT系列和NXT系列,其中PAS系列光源為高壓汞燈光源,現(xiàn)已停產(chǎn),AT系列屬于老型號,多數(shù)已經(jīng)停產(chǎn)。市場上主力機種是XT系列以及NXT系列,為ArF和KrF激光光源,XT系列是成熟的機型,分為干式和沉浸式兩種,而NXT系列則是現(xiàn)在主推的高端機型,全部為沉浸式。








