INFICON SQC-310 系列提供同類膜厚控制儀深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司
高精度連續(xù)鍍膜控制或共鍍膜控制
憑借先進的技術(shù)、完善的顯示和實惠的價格,INFICON SQC-310 系列提供同類膜厚控制儀無法企及的優(yōu)勢??梢赃x擇適合您應(yīng)用的理想型號:連續(xù)鍍膜 (SQC-310) 或共鍍膜 (SQC-310C)。
功能
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明亮的彩色 LCD 顯示屏 - 提供英文或中文版本
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標準 RS-232 和 USB(可選 RS-232 和以太網(wǎng))
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設(shè)有“Quick Setup”(快速設(shè)定)菜單、6 個區(qū)分上下文按鈕以及一個簡便的參數(shù)設(shè)定旋鈕,易于設(shè)定和操作
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用于開發(fā)、測試和下載過程的 Windows® 程序,以及用于將儀器數(shù)據(jù)記錄到 PC 進行過程分析與質(zhì)量控制的 Windows 程序
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精確的過程控制,尤其適用于低沉積速率,測量速率為每秒 10 個讀數(shù),測量分辨率為 ±0.03 Hz
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存儲容量可達 100 個過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料
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使用單傳感器或多傳感器監(jiān)控源材料,提供精確的源分布監(jiān)控
零件號

規(guī)格
類型
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SQC-310
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SQC-310C
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測量
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QCM 輸入
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2 (4 optional)
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4
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測量頻率范圍
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Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
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Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
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頻率分辨率 (1)
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± 0.012 Hz
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± 0.012 Hz
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厚度和速率分辨率/測量 (2)
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±0.015 ?
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±0.015 ?
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頻率穩(wěn)定性
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± 2 ppm total, 0 to 50C
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± 2 ppm total, 0 to 50C
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測量周期
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0.10 to 1.0 s (adjustable)
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0.10 to 1.0 s (adjustable)
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速率顯示
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0.01 ?/sec
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0.01 ?/sec
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控制
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存儲
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100 processes, 1000 layers, 50 films
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100 processes, 1000 layers, 50 films
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控制輸出
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2 (4 optional)
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4
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輸出信號
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± 0 to 10 VDC, 15 bits
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± 0 to 10 VDC, 15 bits
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數(shù)字輸入/繼電器
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8/8 (16/16 optional)
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16/16
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數(shù)字輸入
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5 VDC non-isolated
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5 VDC non-isolated
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繼電器
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SPST Form 1A, 30V, 2A max
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SPST Form 1A, 30V, 2A max
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接口
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Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
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Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
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遠程電源控制
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Optional (IPN 782-900-017)
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Optional (IPN 782-900-017)
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顯示器
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類型
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1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
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1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
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圖表
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Rate, deviation, power or full screen numeric
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Rate, deviation, power or full screen numeric
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一般
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功率
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100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W
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100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W
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合規(guī)性
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CE, RoHS
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CE, RoHS
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Windows® 軟件
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Included
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Included
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殼體/安裝
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5 1/4” half-rack
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5 1/4” half-rack
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(1) 0.25 秒測量間隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1,基礎(chǔ)頻率= 6 赫茲,0.25 秒測量間隔