深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司
ISP-500C 無油渦卷式真空泵 技術(shù)資料
替換率
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50 Hz
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30 m3h-1 / 17.6 ft3min-1
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60 Hz
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36 m3h-1 / 21.2 ft3min-1
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高抽氣速度
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50 Hz
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25 m3h-1 / 16.1 ft3min-1
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60 Hz
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30 m3h-1 / 17.6 ft3min-1
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真空度
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1 x 10-2 mbar / 7.5 x 10-3 Torr
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入口連接
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NW40
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出口連接
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NW25
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入口可承受壓力
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1000 mbar
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出口可承受壓力
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1150 mbar
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電機功率
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0.6 kW
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電源供應(yīng)
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1-phase, 50Hz
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100/200/230 V
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1-phase, 60Hz
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100/115/200/230 V
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3-phase, 50Hz
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200/380/415 V
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3-phase, 60Hz
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200/208/230/460 V
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Recommended contactor rating, 3-ph
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200-230 V
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5 A
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380-460 V
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3 A
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防護等級
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IP44
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密封性能(靜態(tài))
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10-4 mbar l s-1
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作動溫度范圍
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5 to 40 °C / 41 to 104 °C
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重量
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3-phase pump
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40 kg / 88 lbs
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1-phase pump
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25 kg / 55 lbs
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ISP 500C 無油渦卷式真空泵 應(yīng)用
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掃描式電子顯微鏡
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離子植入(電子束及終端裝置)
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一般清潔的抽真空應(yīng)用
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濺鍍
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渦輪分子泵的前級泵
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稀有氣體再循環(huán)
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膠材干燥
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旋轉(zhuǎn)蒸鍍設(shè)備
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離心濃縮
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真空爐
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手套箱
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真空腔體粗抽使用


