用途
· 一般清潔泵送應(yīng)用
· 電子掃描顯微鏡 - SEM
· 射束線和高能物理
· 前級渦輪泵
· 超高速離心機
· 覆層
· 低溫學(xué)
· 脫氣/硫化 - 油,環(huán)氧樹脂
· 蒸餾/萃取/過濾
· 冷凍干燥
· 熔爐
· 凝膠體干燥
· 實驗室工作臺上真空
· 激光、氣體回收和再循環(huán)
· 氦檢漏儀
· 負(fù)載鎖和傳輸腔
· 稀有氣體再循環(huán)
· 稀有氣體回收
· 冷凍制造
· 研發(fā)
· 旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
· SEM/FIB(離子束維修)
· 溶劑回收
· 表面科學(xué)儀器
特性與優(yōu)勢
· 真空外殼中不需要使用潤滑劑,完全密封可保證徹底的清潔和干燥真空,防止交叉污染
· 無大氣壓到真空的軸封可使軸承完全隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能以更低溫度運行,使用時間更長
· 簡單的單側(cè)滾軸布置與創(chuàng)新的電機和軸承設(shè)計相結(jié)合,只需zui低程度的特殊工具,就能實現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務(wù),因此可降低運行成本,盡可能延長正常運行時間
· 改進(jìn)了電機和傳動效率,可降低功耗和運行成本
· *的接口提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法,可通過 USB、RS232 或 RS485 實現(xiàn)遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視
技術(shù)數(shù)據(jù)
標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度
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1800 rpm
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排量
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12.7 m3h-1 / 7.5 ft3min-1
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峰值抽速
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11.4 m3h-1 / 6.7 ft3min-1
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極限真空(總壓力)
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0.007 mbar / 0.005 Torr
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zui小待機旋轉(zhuǎn)速度
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1200 rpm
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速度控制精度
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(以全速百分比表示)
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1%
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zui小轉(zhuǎn)速時的抽速
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7.5
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zui大連續(xù)進(jìn)氣口壓力
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200 mbar
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電機功率(一相)
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280 W
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電源連接器(1 相)
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IEC EN60320 C13
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*保險絲
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10A,250Vac rms
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重量
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25.8 kg / 57 lb
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入口法蘭
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NW25
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排氣口法蘭
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NW25
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噪音級別
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52 dB(A)
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入口法蘭處抗振性
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< 4.5 mms-1 (rms)
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密封性(靜態(tài))
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< 1x10-6 mbar ls-1
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工作溫度范圍
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10 至 40 °C / 41 至 104 °F
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